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发布时间:2022-04-13 20:12:00 作者:锦城镀膜
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真空镀膜之多弧离子镀 :
部分离子对阴极的轰击又使阴极斑点局部快速蒸发并在空间迅速离化,使这些阴极弧斑点变成微小蒸发源,这些微小蒸发源在磁场和屏蔽绝缘的作用下束缚在阴极靶面做无规则运动,从而形成大面积均匀的蒸发源,喷发出电子、离子、熔融的金属材料和原子。大部分是离子和熔融粒子,在偏压作用下,离子流在基体上凝聚成金属、合金或化合物薄膜。溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子。
物理l气相沉积(真空镀膜)基本方法 :
从被沉积物质的气化方式看,真空蒸镀为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等;01-100um,并以高达100m/s的速度在阴极靶表面随机运动,也可以利用磁场控制阴极弧斑的运动。溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子;离子镀可以分为蒸发式或者溅射式,蒸发式为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等,溅射式由进入辉光放电空间的原子由气体提供,反应物沉积在基片上。
离子镀是真空镀膜工艺”的一项新发展。普通真空镀膜(亦称真空蒸镀)时,工件夹在真空罩内,当高温蒸发源通电加热后,促使待镀材料——蒸发料熔化蒸发。由于温,蒸发料粒子获得一定动能,则沿着视线方向徐徐上升,后附着于工件表面上堆积膜。现有镀膜工艺,多数均要求事先对工件进行严格清洗,既复杂又费事。用这种工艺形成的镀层,与零件表面既无牢固的化学结合,有无扩散连接,附着能很差,有时就像桌面上落的灰尘一样,用手一摸也会擦掉。
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