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发布时间:2022-04-14 15:35:00 作者:锦城镀膜
物理l气相沉积法主要有真空蒸镀、溅射和离子镀。
真空蒸镀:在真空中加热使金属、合金或化合物蒸发,然后凝结在基体表面上的方法叫真空蒸镀。
溅射:溅射是利用高速正离子轰击某一靶材(阴极),使靶材表面原子以一定能量逸出,后在工件表面沉积的过程。
离子镀:离子镀借助于一种惰性气体的辉光放电使欲镀金属或合金蒸发离子化,并在这些荷能离子轰击基体(工件)表面并同时沉积在其上形成镀膜。
镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:
烘烤温度:真空室抽气时烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空气和水气,这是保证膜色调纯正的重要因素之一。要注意的是,我们的设备一般采用加热棒烘烤,以热电偶测温,热电偶的感温端位置不能靠近发热棒,否则不能反映炉内环境和工件的实际温度。
离子轰击:指利用高能高密度的金属离子流和ya离子流对工件进行离子轰击清洗,能有效去除工件表面的氧化物;但需注意工件温升过热退火和轰出表面缺陷。
离子镀是真空镀膜工艺”的一项新发展。普通真空镀膜(亦称真空蒸镀)时,工件夹在真空罩内,当高温蒸发源通电加热后,促使待镀材料——蒸发料熔化蒸发。由于温,蒸发料粒子获得一定动能,则沿着视线方向徐徐上升,后附着于工件表面上堆积膜。镀膜原理阴极真空磁控溅射的特点:膜层厚度均匀、镀膜速度快、基板温度低。用这种工艺形成的镀层,与零件表面既无牢固的化学结合,有无扩散连接,附着能很差,有时就像桌面上落的灰尘一样,用手一摸也会擦掉。
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离子镀时,蒸发料粒子是以带电离子的形式在电场中沿着电力线方向运动,习而凡是有电场存在的部位,均能获得良好镀层,这比普通真空镀膜只能在直射向上获得镀层***得多。因此,这种方法非常适合于镀复零件上的内孔、凹槽0窄缝。等其他方法难镀的部位。
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