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发布时间:2022-04-28 04:04:00 作者:锦城镀膜
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真空镀膜之多弧离子镀 :该装置的优点是阴极电弧源既是蒸发源和离化源 ,又是加热源和轰击源,不用熔池,弧源可任意方位,多源布置。ya气越少,靶材溅射量越少,但真空度越高,气体分子自由程越大,散射越少,粒子碰撞几率越小,粒子迁移过程中损失的动量越少,沉积速率越大。离化率高,一般可达60%-80%蒸发沉积速率快, 入射粒子能量高,沉积膜的质量和附着性能好。可蒸发各种导电材料,金属或合金, 成份不受限制。能进行反应镀膜,缺点是易于产生液滴,组织不致密。
离子镀工艺则有所不同,虽然也是在真空罩内进行的,但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。也就是说,蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。相当于一个从g中射出的高速弹l头,可以穿入靶体很深,在工件上形成一种附着牢固的扩散镀层。
有机镀膜与无机镀膜的根本区别,目前市场上被称作玻璃系镀膜或石英结晶镀膜的产品几乎都是以含j基的硅氧烷树脂(methylsiloxane)为主要成分的镀膜,镀膜硬化后(有些镀膜甚至无法达到完全硬化),成份中含有大量j基团(CH3),实质为有机硅树脂。镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:烘烤温度:真空室抽气时烘烤有利于真空室和工件解吸已吸附的空气和水气,这是保证膜色调纯正的重要因素之一。这种镀膜剂在使用中,j基团会被紫外线分解,附着在上面的硅元素也随之脱落。这类镀膜剂所标称的耐久性也仅相当于树脂涂层的耐久性,根本无法与不会学化的纯无机糖瞄相捏并论。
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