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经营模式: | 生产加工 |
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发布时间:2021-11-12 20:52:00 作者:锦城镀膜
真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。
真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工 作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。
真空镀膜设备在集成电路制造中的应用
1.晶体管路中的保护层(SiO2、Si3N4)、多弧离子镀膜机电极管线(多晶硅、铜及其合金)等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的***技术之一。
2.真空镀膜设备在传感器方面的应用
在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、高真空镀膜机化学量及其变化来说,极为敏感的半导体材料。此外,其中大多数利用的是半导体的表面、界面的性质,需要尽量增大其面积,且能工业化、***格制作、因此采用薄膜的情况很多
真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)。因为镀层常为金属薄膜,故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料,大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。
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