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发布时间:2021-11-17 06:05:00 作者:锦城镀膜
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镀膜技术也叫薄膜技术,是在真空条件下采用物理或化学方法,使物体表面获得所需的膜体。镀膜技术是初起源于20世纪30年代,直到70年代后期才得到较大发展的一种技术。5)原子簇团与扩散原子相碰撞,或吸附单原子,或放出单原子,这种过程反复进行。目前已被广泛应用于耐酸、耐蚀、耐热、表面硬化、装饰、润滑、光电通讯、电子集成、能源等领域.
离子镀工艺则有所不同,虽然也是在真空罩内进行的,但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的。也就是说,蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。相当于一个从***g中射出的高速***,可以穿入靶体很深,在工件上形成一种附着牢固的扩散镀层。它是离子溅射镀膜的基础,即离子溅射镀膜中的入射离子一般利用气体放电法得到。
镀膜原理
阴极真空磁控溅射的特点:膜层厚度均匀、镀膜速度快、基板温度低。溅射镀膜利用2个原理:辉光放电、连续撞击。溅射过程是建立在气体放电基础上的,放电从低压下开始的,气体离子与靶材相互作用,离子不断的撞击靶表面,靶材从靶表面被轰击下来然后在靶附近的基片(玻璃)上沉积下来,凝结成一层薄膜。镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响:镀膜时间:膜层厚度随镀膜时间的增加而增加,但不是线形增加,当厚度达到一定的时候,增加速度会变慢***基本停止,而且镀膜时间越长膜层应力越大。
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